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전기·전자·화학

SK하이닉스, 日 에칭가스 수입 허가 받아...액체 불화수소는 국산 투입

지난 8월 삼성전자 이후 두 번째 승인...불산액은 아직 허가 없어

 

[웹이코노미=김민호 기자] SK하이닉스가 최근 일본 정부로부터 기체 불화수소(에칭가스) 수입 허가를 받은 것으로 알려졌다.

 

2일 SK하이닉스 관계자는 "지난달 말 일본이 반도체 공정에 사용하는 소재인 초고순도 기체 불화수소(에칭가스) 수출을 허가했다"며 "아직 한국에 들어오진 않은 상태"라고 밝혔다.

 

앞서 일본 정부는 7월초 반도체·디스플레이 핵심소재(폴리이미드·포토레지스트·불화수소)의 수출 허가 방식을 기존 포괄허가에서 개별허가로 전환한다고 발표했다.

 

수출 규제 이후 허가된 에칭가스는 이번을 포함해 약 두 차례다. 지난 8월 처음 수출이 허가된 에칭가스의 수입 기업은 삼성전자로 알려졌다.

 

반면 반도체용 액체 불화수소는 아직 단 한 건의 허가도 나고 있지 않다. 이에 SK하이닉스는 "지난 1일 일부 생산라인에 국산 액체 불화수소를 투입해 사용 중"이라고 전했다.

 

앞서 LG디스플레이와 삼성전자도 일본 고순도 불화수소 일부를 국산품으로 대체하는 데 성공했다고 밝힌 바 있다.

김민호 웹이코노미 기자 webeconomy@naver.com