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전기·전자·화학

SK, 초고순도 불화수소 가스 양산 시작...반도체 핵심 소재 국산화 박차

2023년까지 국산화율 70% 목표...日 수출규제 조치 이후 1년만

 

[웹이코노미=김민호 기자] SK머티리얼즈가 지난해 일본이 수출규제 조치를 취한 품목 중 하나인 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스에 대해 양산에 돌입했다.

 

SK그룹은 반도체 소재 생산 기업인 SK머티리얼즈가 최근 초고순도 불화수소 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다. 초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 사용되는 세정 가스로 해외 의존도가 100%에 달하는 제품이다.

 

앞서 SK머티리얼즈는 지난해 말부터 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후 경북 영주 공장 내 15톤 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해왔다. 이를 통해 오는 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올릴 계획이다.

 

아울러 SK머티리얼즈는 최근 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다. 반도체 웨이퍼 위에 회로 패턴을 새기기 위해서는 포토레지스트(감광액)가 필수적인데, SOC는 포토레지스트 보조재로 패턴을 보호해 주는 소재다.

 

불화아르곤 포토레지스트도 해외의존도가 90%에 달하는 것으로 알려져 제품 양산이 본격화될 시 국내 반도체 제조사들이 안정적으로 소재 공급을 받을 수 있을 것으로 전망된다. SK머티리얼즈는 2021년 생산시설을 준공해 2022년부터 연 5만 갤런 규모의 포토레지스트 생산에 돌입할 예정이다.

 

SK실트론도 지난해 미국 듀폰사로부터 전기 자동차 필수 소재인 차세대 전력 반도체용 SiC(실리콘카바이드) 웨이퍼 사업을 인수한 바 있다. 미국·유럽의 소수 업체가 해당 분야의 글로벌 시장을 과점하고 있어 SK그룹의 듀폰 사업부 인수는 국내 소재 사업의 위상을 한 단계 높인 계기로 평가된다.

 

SK그룹은 소재 국산화 과정에서 확보한 역량을 중소기업과 공유해 상생 협력을 이어나가고 반도체 생태계 강화에 나선다는 계획이다. 현재 SK하이닉스는 총 4000억원 규모의 상생펀드를 조성해 협력사들에 저금리 융자를 제공하고 있다.

 

그룹 내 소재사들은 중소 협력사들이 고부가의 고순도 가스를 정제하는 과정에서 필요로 하는 기술 및 노하우를 공유할 예정이다.

 

SK머티리얼즈는 지난해 11월 경북 영주 본사에 R&D 시설인 ‘통합분석센터’를 설립하고 한국표준과학원 등 연구기관들과 함께 중소기업들에 분석 서비스를 제공하기 위한 준비작업에 돌입했다.

 

SK그룹 관계자는 “투자비나 전문 인력 확보 측면에서 어려움을 겪는 중소기업들에 SK가 보유한 노하우를 공유해 업계 전체가 진화 발전하도록 도울 것”이라며 “중소기업 상생 협력을강화해 국내 반도체 산업 경쟁력을 제고하고 고용 창출 효과에도 기여하겠다”고 밝혔다.

김민호 웹이코노미 기자 webeconomy@naver.com