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전기·전자·화학

듀폰, 日수출규제 품목 ‘포토레지스트’ 생산공장 韓에 만든다

2800만달러 규모 투자 내년까지 완료...충남 천안에 시설 구축

 

[웹이코노미=김민호 기자] 미국 화학소재 기업 듀폰이 일본 수출규제 3대 품목 가운데 하나인 EUV용 포토레지스트 개발·생산 공장을 천안에 짓는다.

 

9일 산업통상자원부에 따르면 성윤모 장관은 8일(현지시간) 미국 실리콘밸리에서 존 켐프 듀폰 사장과 개별면담을 진행했다. 이에 듀폰은 2800만달러 규모 투자신고서를 제출하고 한국에 EUV용 포토레지스트 투자를 최종 확정했다. 투자 예상 기간은 2020∼2021년이다.

 

듀폰은 앞서 한국 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아를 통해 지난 1998년부터 천안에 두 개의 공장에서 반도체 회로기판용 소재·부품을 생산해 왔다. 당초 듀폰은 반도체 제조사 TSMC가 위치한 대만에 공장 설립을 타진하던 것으로 알려졌지만, 산자부의 외국 기업 인센티브 지원책 마련과 적극적인 투자유치로 한국을 최종 투자처로 확정했다.

 

듀폰은 내년까지 투자를 완료, 충남 천안에 EUV용 포토레지스트 및 CMP패드 개발·생산 시설을 구축할 계획이다. EUV용 포토레지스트는 지난해 7월 일본 정부가 불화수소·불화 폴리이미드와 함께 수출규제 대상에 포함시킨 반도체 핵심 소재 중 하나다.

 

산업부 관계자는 “정부와 지자체, KOTRA가 원팀으로 듀폰과 투자협상을 진행해 경쟁국을 제치고 한국이 최종 투자처로 확정됐다”며 “정부와 해당 지자체는 앞으로 투자과정에서 애로사항을 해소하고 인센티브 지원 등이 차질 없이 이뤄지도록 노력할 예정”이라고 밝혔다.

 

존 켐프 듀폰 사장은 “EUV용 포토레지스트 개발·생산을 위해 앞으로 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 계획”이라고 말했다.

 

성 장관은 “최근 일본 정부의 EUV용 포토레지스트에 대한 특정 포괄허가 허용 등 일본 수출규제 조치 해결에 일부 진전이 있었지만 근본적인 해결방안으로는 보기 어려웠다”며 “정부는 핵심 소재·부품·장비에 대한 기술경쟁력 확보와 공급선 다변화를 계속해서 추진해 나갈 것”이라고 강조했다.

김민호 웹이코노미 기자 webeconomy@naver.com