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KAIST, 차세대 반도체 핵심소재로 열적으로 안정된 강유전체 소재 최초 개발

하프니아 소재의 운동학적 에너지 / 고용 원소의 열적 안정성을 입체적으로 고려해, 다양한 3D 구조 집적 공정에서도 열적으로 안정한 강유전체 소재를 세계 최초로 개발
연구팀에서 개발 및 제안한 열적 안정성이 뛰어난 강유전체 소재 개발 및 공정 가이드 라인은 학계 및 반도체 제조 업계에서 차세대 반도체의 핵심 강유전체 기반 3D 구조 메모리 개발에 큰 기여를 할 것으로 기대

2022.12.12 18:01:29
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